CMOS Cantilever Sensor Systems
Produktinformationen "CMOS Cantilever Sensor Systems"
This book describes a vital measuring principle for analysing integrated circuits with a nano-electro-mechanical systemIncludes supplementary material: sn.pub/extras
| Autor: | Baltes, H. Brand, O. Lange, D. |
|---|---|
| ISBN: | 9783540431435 |
| Verlag: | Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 156 |
| Produktart: | Gebunden |
| Erscheinungsdatum: | 23.07.2002 |
| Verlag: | Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg |
| Untertitel: | Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications |
| Schlagworte: | CMOS Nanotechnologie Steuerung (elektronisch) Technik / Physik Technologie / Nanotechnologie |
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